بررسی خصوصیات الکتریکی، پاسخ‌دهی و برگشت‌پذیری نانوحسگر خازنی با ساختار فلز-اکسید- نیمه‌رسانا برای آشکارسازی گاز هیدروژن

نوع مقاله: مقاله پژوهشی

نویسندگان

گروه فیزیک، واحد تهران شرق، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران

چکیده

خازن فلز- اکسید- نیمه‌رسانا بر اساس تغییر در تابع کار فلز، گاز هیدروژن را آشکارسازی می‌کند. نانوذرات پالادیم به روش شیمیایی سنتز شده و با استفاده از آنالیز‌های TEM و طیف UV مشخصه‌یابی شده‌اند. تاثیر نانوذرات پالادیم به عنوان فلز کاتالیزوری بر روی زمان پاسخ­دهی و زمان برگشت­پذیری مورد بررسی قرار گرفته است. همچنین میزان جذب و واجذب گاز هیدروژن در نانوذرات پالادیم بر حسب فشار گزارش شده است. نتایج نشان می‌دهند که ساختار Pd/SiO2/Si یک نانوحسگر خازنی با سرعت پاسخ‌دهی بالا برای آشکارسازی گاز هیدروژن می‌باشد. مقایسه میان غلظت‌های 1 و 2% هیدروژن در نیتروژن نشان می‌دهد که با افزایش غلظت گاز هیدروژن زمان پاسخ‌دهی از 2 به s 5/1 کاهش یافته است. نتایج بدست آمده نشان می‌دهند که پاسخ‌دهی نانوحسگر با استفاده از نانوذرات پالادیم بهبود یافته است.

کلیدواژه‌ها