مقایسه میان حسگرهای هیدروژنی با ساختار خازنی با استفاده از لایه نازک نیکل و نانوذرات پالادیم برای نمایش غلظت 1% هیدروژن

نوع مقاله: مقاله پژوهشی

نویسندگان

1 گروه فیزیک، واحد تهران شرق، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران

2 مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما، واحد علوم و تحقیقات تهران، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران

3 آزمایشگاه مرکزی 2، دانشکده کشاورزی، دانشگاه لرستان، خرم‌آباد، ایران

چکیده

در این مقاله دو حسگر هیدروژنی با ساختار خازن فلز- اکسید- نیمرسانا Pd/SiO2/Si و Ni/SiO2/Si ساخته شده‌اند. میزان جذب و واجدب گاز هیدروژن در نانوذرات پالادیم در فشارهای مختلف گزارش شده است. منحنی‌های ظرفیت-ولتاژ برای حسگر Pd/SiO2/Si در دمای اتاق و حسگر Ni/SiO2/Si در دمای °C 140 در حضور نیتروژن خالص و 1% هیدروژن-نیتروژن بررسی شده‌اند. نتایج نشان می‌دهند که برای حسگر Pd/SiO2/Si مدت زمان پاسخ­دهی s 4/1 و برای حسگر Ni/SiO2/Si مدت زمان پاسخ‌دهی s 90 می‌باشد. مدت زمان برگشت‌پذیری برای حسگر بر اساس نانوذرات پالادیم s 14 است و برای حسگر بر اساس لایه نازک نیکل min 40 می‌باشد. همچنین مقایسه میان دو حسگر نشان می‌دهد که پاسخ‌دهی (R%) حسگر با ساختار نانوذرات پالادیم برابر 88% و حسگر با ساختار لایه نازک نیکل برابر 29% می‌باشد.

کلیدواژه‌ها